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          當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心德國Kleindiek納米探針臺Probe Workstation納米探針臺

          納米探針臺
          產(chǎn)品簡介:

          Kleindiek納米探針臺是基于SEM/FIB的材料,半導(dǎo)體器件的電學(xué)性能表征系統(tǒng)。納米級微操縱器和相關(guān)的探針軟硬件模塊組合提供多功能的納米探測的解決方案,用于半導(dǎo)體器件故障分析和穩(wěn)定微弱電流的測量。

          產(chǎn)品型號:Probe Workstation

          更新時間:2025-01-16

          廠商性質(zhì):代理商

          訪 問 量 :760

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          產(chǎn)品介紹

          Kleindiek納米探針臺是基于SEM/FIB的材料,半導(dǎo)體器件的電學(xué)性能表征系統(tǒng)。納米級微操縱器和相關(guān)的探針軟硬件模塊組合提供多功能的納米探測的解決方案,用于半導(dǎo)體器件故障分析和穩(wěn)定微弱電流的測量。

          Kleindiek微納米操縱儀是安裝在掃描電子顯微鏡內(nèi)用于實現(xiàn)微納米材料/器件的操縱或是實現(xiàn)對于納米材料/器件的電流測量及材料機(jī)械性能的測試(選配插件 FMS-EM) 。

          微納米操縱儀, 在 SEM 電鏡樣品室內(nèi)像一只或多只靈活的"手“。 主要功能包括:

          (1) 在SEM 電鏡觀察過程中樣品的原位操縱, 搬移等;

          (2) 在雙束離子刻蝕系統(tǒng)中通過操縱儀和微鑷子(選配插件 MGS2-EM) 提取雙束系統(tǒng)制備的 TEM 薄片樣品;

          (3) 通過選配EBIC 放大器, 對樣品做 EBIC/EBAC/RCI 等成像, 實現(xiàn)微納米材料/器件的 PN 結(jié)觀測, 電阻變化定位, IC 開路探測, 失效分析等功能。

          Kleindiek納米探針臺更多資料請聯(lián)系我們。



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